Elektron demeti litografisi, yönlendirilmiş elektronlar kullanılara nanoölçekte maskesiz bir yazma tekniğidir. Bu alanda şu ana kadar yapılan en sofistike ve pahalı yöntemdir. Bu konu ile ilgigi daha detaylı bilgileri çok kısa bir süre içerisinde güncelelyeceğiz.
Daha fazla bilgiye firma sayfalarından ulaşabilirsiniz.
|